1. Ngilangake partikel bledug ing kamar resik sing bebas bledug
Fungsi utama kamar resik yaiku kanggo ngontrol kebersihan, suhu, lan kelembapan atmosfer sing kena produk (kayata chip silikon, lan liya-liyane), supaya produk bisa diprodhuksi lan diprodhuksi ing lingkungan sing apik. Kita nyebutake ruang iki minangka kamar resik. Miturut praktik internasional, tingkat kebersihan utamane ditemtokake dening jumlah partikel saben meter kubik udara kanthi diameter luwih gedhe tinimbang standar klasifikasi. Kanthi tembung liya, sing diarani bebas bledug ora 100% bebas bledug, nanging dikontrol ing unit sing cilik banget. Mesthi wae, partikel sing memenuhi standar bledug ing standar iki wis cilik banget dibandhingake karo bledug umum sing kita deleng, nanging kanggo struktur optik, sanajan bledug sithik bakal duwe dampak negatif sing gedhe banget, mula bebas bledug minangka syarat sing ora bisa dihindari ing produksi produk struktur optik.
Ngontrol jumlah partikel bledug kanthi ukuran partikel luwih saka utawa padha karo 0,5 mikron saben meter kubik nganti kurang saka 3520/meter kubik bakal tekan kelas A saka standar bebas bledug internasional. Standar bebas bledug sing digunakake ing produksi lan pangolahan tingkat chip duwe syarat bledug sing luwih dhuwur tinimbang kelas A, lan standar sing dhuwur kaya ngono utamane digunakake ing produksi sawetara chip tingkat sing luwih dhuwur. Jumlah partikel bledug dikontrol kanthi ketat ing 35.200 saben meter kubik, sing umum dikenal minangka kelas B ing industri kamar resik.
2. Telung jinis kahanan kamar resik
Kamar resik kosong: fasilitas kamar resik sing wis dibangun lan bisa digunakake. Kamar iki nduweni kabeh layanan lan fungsi sing relevan. Nanging, ora ana peralatan sing dioperasikake dening operator ing fasilitas kasebut.
Kamar resik statis: fasilitas kamar resik kanthi fungsi lengkap, setelan lan instalasi sing tepat, sing bisa digunakake miturut setelan utawa lagi digunakake, nanging ora ana operator ing fasilitas kasebut.
Kamar resik dinamis: kamar resik sing digunakake normal, kanthi fungsi layanan, peralatan, lan personel sing lengkap; yen perlu, pakaryan normal bisa ditindakake.
3. Barang-barang kontrol
(1). Bisa mbusak partikel bledug sing ngambang ing udhara.
(2). Bisa nyegah munculé partikel bledug.
(3). Kontrol suhu lan kelembapan.
(4). Pangaturan tekanan.
(5). Ngilangake gas-gas sing mbebayani.
(6). Kedap udara ing struktur lan kompartemen.
(7). Nyegah listrik statis.
(8). Nyegah gangguan elektromagnetik.
(9). Pertimbangan faktor keamanan.
(10). Pertimbangan babagan ngirit energi.
4. Klasifikasi
Tipe aliran turbulen
Udara mlebu kamar resik saka kothak AC liwat saluran udara lan filter udara (HEPA) ing kamar resik, lan bali saka panel tembok partisi utawa lantai sing ditinggikake ing loro-lorone kamar resik. Aliran udara ora obah kanthi cara linier nanging nuduhake kahanan turbulen utawa eddy sing ora teratur. Jinis iki cocok kanggo kamar resik kelas 1.000-100.000.
Definisi: Kamar resik ing ngendi aliran udara mili kanthi kecepatan sing ora rata lan ora sejajar, dibarengi karo aliran balik utawa arus eddy.
Prinsip: Kamar resik sing turbulen gumantung marang aliran udara sing nyedhiyakake udara kanggo terus ngencerake udara njero ruangan lan mboko sithik ngencerake udara sing tercemar kanggo entuk kebersihan (kamar resik sing turbulen umume dirancang ing tingkat kebersihan ing ndhuwur 1.000 nganti 300.000).
Fitur: Kamar resik sing turbulen gumantung marang pirang-pirang ventilasi kanggo entuk tingkat kebersihan lan karesikan. Jumlah pangowahan ventilasi nemtokake tingkat pemurnian ing definisi (luwih akeh pangowahan ventilasi, luwih dhuwur tingkat kebersihan)
(1) Wektu pemurnian diri: nuduhake wektu nalika kamar resik wiwit nyedhiake udara menyang kamar resik miturut nomer ventilasi sing dirancang lan konsentrasi bledug ing kamar tekan tingkat kebersihan sing dirancang kelas 1.000 diarepake ora luwih saka 20 menit (15 menit bisa digunakake kanggo pitungan) kelas 10.000 diarepake ora luwih saka 30 menit (25 menit bisa digunakake kanggo pitungan) kelas 100.000 diarepake ora luwih saka 40 menit (30 menit bisa digunakake kanggo pitungan)
(2) Frekuensi ventilasi (dirancang miturut syarat wektu ngresiki dhewe ing ndhuwur) kelas 1.000: 43,5-55,3 kali/jam (standar: 50 kali/jam) kelas 10.000: 23,8-28,6 kali/jam (standar: 25 kali/jam) kelas 100.000: 14,4-19,2 kali/jam (standar: 15 kali/jam)
Kauntungan: struktur prasaja, biaya konstruksi sistem murah, gampang ngembangake kamar resik, ing sawetara panggonan khusus, bangku resik sing bebas bledug bisa digunakake kanggo ningkatake kualitas kamar resik.
Kekurangane: partikel bledug sing disebabake turbulensi ngambang ing njero ruangan lan angel dibuwang, sing bisa gampang ngontaminasi produk proses. Kajaba iku, yen sistem dihentikan banjur diaktifake, asring butuh wektu suwe kanggo entuk kebersihan sing dibutuhake.
Aliran laminar
Udara aliran laminar obah ing garis lurus sing seragam. Udara mlebu ruangan liwat filter kanthi tingkat jangkoan 100% lan bali liwat lantai sing ditinggikake utawa papan partisi ing loro-lorone. Jinis iki cocok digunakake ing lingkungan kamar resik kanthi tingkat kamar resik sing luwih dhuwur, umume kelas 1 ~ 100. Ana rong jinis:
(1) Aliran laminar horisontal: Udara horisontal diunekake saka filter ing siji arah lan dibalekake maneh dening sistem udara bali ing tembok sing ngelawan. Bledug dibuwang menyang njaba kanthi arah udara. Umumé, polusi luwih serius ing sisih hilir.
Kauntungan: Strukture prasaja, bisa dadi stabil sajrone wektu sing cendhak sawise operasi.
Kekurangane: Biaya konstruksi luwih dhuwur tinimbang aliran turbulen, lan ruang njero ruangan ora gampang dikembangake.
(2) Aliran laminar vertikal: Langit-langit ruangan ditutupi filter ULPA, lan udara ditiup saka ndhuwur nganti ngisor, sing bisa entuk kebersihan sing luwih dhuwur. Bledug sing diasilake sajrone proses utawa dening staf bisa dibuwang kanthi cepet menyang njaba ruangan tanpa mengaruhi area kerja liyane.
Kauntungan: Gampang dikelola, kahanan stabil bisa digayuh sajrone wektu sing cendhak sawise operasi diwiwiti, lan ora gampang kena pengaruh kahanan operasi utawa operator.
Kekurangane: Biaya konstruksi dhuwur, angel nggunakake papan kanthi fleksibel, gantungan plafon ngenggoni akeh papan, lan repot ndandani lan ngganti filter.
Tipe komposit
Jinis komposit yaiku nggabungake utawa nggunakake jinis aliran turbulen lan jinis aliran laminar bebarengan, sing bisa nyedhiyakake udara ultra-bersih lokal.
(1) Terowongan Resik: Gunakake filter HEPA utawa ULPA kanggo nutupi 100% area proses utawa area kerja kanggo nambah tingkat kebersihan nganti ndhuwur Kelas 10, sing bisa ngirit biaya instalasi lan operasi.
Jinis iki mbutuhake area kerja operator sing diisolasi saka produk lan perawatan mesin supaya ora mengaruhi karya lan kualitas sajrone perawatan mesin.
Terowongan sing resik nduweni rong kaluwihan liyane: A. Gampang dikembangake kanthi fleksibel; B. Pangopènan peralatan bisa ditindakake kanthi gampang ing area pangopènan.
(2) Tabung Resik: Ubengi lan sucèkaké jalur produksi otomatis sing diliwati aliran produk, lan tambahaké tingkat kebersihan nganti ndhuwur kelas 100. Amarga produk, operator, lan lingkungan sing ngasilaké bledug diisolasi siji lan sijiné, pasokan udara sithik bisa entuk kebersihan sing apik, sing bisa ngirit energi lan paling cocog kanggo jalur produksi otomatis sing ora mbutuhake tenaga kerja manual. Iki ditrapake kanggo industri farmasi, panganan, lan semikonduktor.
(3) Titik Resik: Tingkat kebersihan area proses produk ing ruang resik turbulen kanthi tingkat ruang resik 10.000 ~ 100.000 ditambah dadi 10 ~ 1000 utawa luwih kanggo tujuan produksi; meja kerja sing resik, gudang sing resik, ruang resik prefabrikasi, lan lemari sing resik kalebu kategori iki.
Bangku resik: kelas 1~100.
Bilik resik: Ruangan cilik sing diubengi kain plastik transparan anti-statis ing ruang kamar resik sing turbulen, nggunakake unit HEPA utawa ULPA lan AC independen kanggo dadi ruang resik tingkat sing luwih dhuwur, kanthi tingkat 10 ~ 1000, dhuwure udakara 2,5 meter, lan area jangkoan udakara 10m2 utawa kurang. Ruangan iki nduweni papat pilar lan dilengkapi roda sing bisa dipindhah kanggo panggunaan sing fleksibel.
5. Aliran Udara
Pentingé Aliran Udara
Karesikan ruangan sing resik asring dipengaruhi dening aliran udara. Kanthi tembung liya, gerakan lan difusi bledug sing diasilake dening wong, kompartemen mesin, struktur bangunan, lan liya-liyane dikontrol dening aliran udara.
Kamar resik nggunakake HEPA lan ULPA kanggo nyaring udara, lan tingkat pangumpulan bleduge nganti 99,97 ~ 99,99995%, mula udara sing disaring dening filter iki bisa diarani resik banget. Nanging, saliyane manungsa, ana uga sumber bledug kayata mesin ing kamar resik. Sawise bledug sing diasilake nyebar, ora mungkin njaga papan sing resik, mula aliran udara kudu digunakake kanggo mbuwang bledug sing diasilake kanthi cepet ing njaba ruangan.
Faktor-faktor sing Mempengaruhi
Ana akeh faktor sing mengaruhi aliran udara ing kamar resik, kayata peralatan proses, personel, bahan perakitan kamar resik, perlengkapan lampu, lan liya-liyane. Ing wektu sing padha, titik pangalihan aliran udara ing ndhuwur peralatan produksi uga kudu digatekake.
Titik pangalihan aliran udara ing permukaan meja operasi umum utawa peralatan produksi kudu disetel ing 2/3 jarak antarane ruang kamar resik lan papan partisi. Kanthi cara iki, nalika operator kerja, aliran udara bisa mili saka njero area proses menyang area operasi lan mbusak bledug; yen titik pangalihan dikonfigurasi ing ngarep area proses, bakal dadi pangalihan aliran udara sing ora bener. Ing wektu iki, sebagian besar aliran udara bakal mili menyang mburi area proses, lan bledug sing disebabake dening operasi operator bakal digawa menyang mburi peralatan, lan meja kerja bakal tercemar, lan asil mesthi bakal mudhun.
Alangan kaya meja kerja ing kamar sing resik bakal ana arus eddy ing persimpangan, lan kebersihan ing cedhake bakal relatif kurang. Ngebor bolongan udara bali ing meja kerja bakal nyuda fenomena arus eddy; apa pilihan bahan perakitan wis cocog lan apa tata letak peralatan wis sampurna uga minangka faktor penting kanggo apa aliran udara dadi fenomena arus eddy.
6. Komposisi kamar resik
Komposisi kamar resik kasusun saka sistem ing ngisor iki (ora ana sing penting banget ing molekul sistem), yen ora, ora bakal bisa mbentuk kamar resik sing lengkap lan berkualitas tinggi:
(1) Sistem langit-langit: kalebu batang langit-langit, balok-I utawa balok-U, kisi-kisi langit-langit utawa rangka langit-langit.
(2) Sistem AC: kalebu kabin udara, sistem filter, kincir angin, lan liya-liyane.
(3) Tembok partisi: kalebu jendhela lan lawang.
(4) Lantai: kalebu lantai sing ditinggikake utawa lantai anti-statis.
(5) Perlengkapan lampu: Lampu datar pemurnian LED.
Struktur utama kamar resik umume digawe saka batangan baja utawa semen balung, nanging ora preduli apa jinis strukture, kudu memenuhi syarat ing ngisor iki:
A. Ora bakal ana retakan amarga owah-owahan suhu lan getaran;
B. Ora gampang ngasilake partikel bledug, lan partikel uga angel nempel;
C. Higroskopisitas sing endhek;
D. Kanggo njaga kahanan kelembapan ing kamar sing resik, insulasi termal kudu dhuwur;
7. Klasifikasi miturut panggunaan
Kamar resik industri
Kontrol partikel mati iku obyek. Iki utamane ngontrol polusi partikel bledug udara menyang obyek sing digunakake, lan interior umume njaga kahanan tekanan positif. Iki cocog kanggo industri mesin presisi, industri elektronik (semikonduktor, sirkuit terpadu, lan liya-liyane), industri aerospace, industri kimia kemurnian tinggi, industri energi atom, industri produk optik lan magnetik (CD, film, produksi tape) LCD (kaca kristal cair), hard disk komputer, produksi kepala komputer lan industri liyane.
Kamar resik biologis
Utamane ngontrol polusi partikel urip (bakteri) lan partikel mati (bledug) menyang obyek sing digunakake. Iki bisa dipérang dadi;
A. Kamar resik biologis umum: utamane ngontrol polusi obyek mikroba (bakteri). Ing wektu sing padha, bahan internal kudu bisa tahan erosi saka macem-macem agen sterilisasi, lan interior umume njamin tekanan positif. Intine, bahan internal kudu bisa tahan macem-macem perawatan sterilisasi kamar resik industri. Tuladha: industri farmasi, rumah sakit (kamar operasi, bangsal steril), panganan, kosmetik, produksi produk minuman, laboratorium kewan, laboratorium uji fisik lan kimia, stasiun getih, lan liya-liyane.
B. Kamar resik keamanan biologis: utamane ngontrol polusi partikel urip saka obyek sing digunakake menyang jagad njaba lan wong. Tekanan internal kudu dijaga negatif karo atmosfer. Tuladha: bakteriologi, biologi, laboratorium resik, teknik fisik (gen rekombinan, persiapan vaksin)
Wektu kiriman: 07-Feb-2025