Tingkat Hasil Chip ing Industri Manufaktur Manufaktur rapet karo ukuran ukuran lan partikel udara sing setor ing chip. Organisasi udara sing apik bisa njupuk partikel sing digawe saka sumber bledug adoh saka ruangan sing resik kanggo njamin kabersihan saka ruangan sing resik, yaiku organisasi udara ing ruangan sing resik ing tingkat produksi IC. Desain organisasi airflow ing ruangan sing resik kudu nggayuh tujuan ing ngisor iki: nyuda utawa ngilangi eddy sing ana ing lapangan aliran supaya nyegah partikel sing mbebayani; njaga kecerunan tekanan positif sing cocog kanggo nyegah kontaminasi salib.
Pasukan udara
Miturut prinsip ruangan sing resik, pasukan sing tumindak kalebu pasukan massa, kekuwatan molekuler, atraksi antarane partikel, aliran udara, lsp.
Angkatan Udara: Nuduhake kekuwatan udara sing disebabake dening kiriman, ngasilake aliran udara, buatan banyu, lan udara udara liyane kanthi tingkat aliran tartamtu kanggo nggawa partikel tartamtu kanggo nggawa partikel tartamtu kanggo nggawa partikel. Kanggo kontrol teknis lingkungan ruangan resik, AirFlow Force minangka faktor sing paling penting.
Eksperimen wis nuduhake manawa ing gerakan udara, partikel kasebut ngetutake gerakan udara ing meh padha. Negara partikel ing udhara ditemtokake dening distribusi airflow. Udara udara sing mengaruhi partikel Indoor utamane kalebu: Airflow Udara (kalebu Airflow Airflow utama), aliran udara utama lan termal lan termal sing disebabake dening wong-wong sing mlaku-mlaku, lan udara sing disebabake dening operasi lan peralatan proses. Metode pasokan udara sing beda, antarmuka kacepetan, operator lan peralatan industri, lan fenomena sing wis ana ing kamar sing resik yaiku kabeh faktor sing mengaruhi tingkat kabersihan.
Faktor sing mengaruhi organisasi airflow
1. Pengaruh Metode Air
(1). Kacepetan sumber udara
Kanggo njamin keragaman udara sing seragam, kacepetan pasokan udhara kudu seragam ing ruangan residirectional; Zona mati ing permukaan udara kudu cilik; Lan tekanan tetes ing ulpa uga kudu dadi seragam.
Kacepetan sumber udhara sing seragam: yaiku, ora rata saka udara sing dikendhaleni sajrone ± 20%.
Zona kurang mati ing permukaan udara: ora mung kudu pesawat pesawat saka pigura Ulpa dikurangi, nanging sing luwih penting, modular FFU kudu diadopsi kanthi gampang.
Kanggo njamin aliran udara unidirectional vertikal, penurunan tekanan panyaring uga penting banget, sing mbutuhake kerugian tekanan ing filter ora bisa nyimpang.
(2). Perbandingan antara sistem FFU lan sistem penggemar aliran axial
FFU minangka unit sumber udara kanthi penggemar lan filter (ulpa). Sawise udhara disedakake ing penggemar centriffugal FFU, tekanan dinamis diowahi dadi tekanan statis ing saluran udara lan ditiup kanthi irama. Tekanan udara udhara ing langit-langit yaiku meksa negatif, saengga ora ana bledug sing bakal bocor menyang kamar sing resik nalika filter diganti. Eksperimen wis nuduhake manawa sistem FFU luwih unggul ing sistem penggemar aliran axial ing babagan keseragaman outlet udara, indeks podo udara lan efisiensi ventilasi lan efisiisi efisiensi indeks. Iki amarga paralelisme udara saka sistem FFU luwih apik. Panggunaan sistem FFU bisa nggawe airflow ing ruangan sing resik luwih diatur.
(3). Pengaruh saka struktur dhewe FFU
FFU utamane dumadi saka penggemar, saringan, piranti pandhuan udara lan komponen liyane. Ulpa filter filter paling dhuwur minangka jaminan paling penting kanggo apa ruangan sing resik bisa nggayuh kabersihan sing dibutuhake. Bahan saka filter kasebut uga bakal mengaruhi keseragaman lapangan aliran. Nalika bahan filter sing kasar utawa piring aliran laminar ditambahake ing outlet Filter, lapangan aliran outlet bisa digawe seragam kanthi gampang.
2. Efek saka antarmuka kacepetan sing beda
Ing kamar sing resik sing padha, ing antarane wilayah sing digunakake lan wilayah sing ora bisa digunakake ing aliran unidirectional vertikal, amarga bedane kacepetan udara ing outlet Udhara, efek vorteks sing dicampur bakal digawe ing antarmuka, lan antarmuka iki bakal dadi kerusakan Zona aliran udara kanthi intensitas kerusuhan udara sing dhuwur. Partikel bisa ditularake menyang permukaan peralatan lan ngrusak peralatan lan wafers.
3. Efek saka staf lan peralatan
Nalika kamar sing resik kosong, ciri aliran udara ing kamar umume ketemu karo reaksi. Sawise peralatan mlebu kamar sing resik, pamindhahan personel ditularake, ora bakal ana alangan menyang organisasi aliran udara. Contone, ing sudhut protruding utawa sudhut peralatan, gas kasebut bakal diuripake kanggo mbentuk zona kerumitan, lan cairan ing zona kasebut ora gampang digawa kanthi gas, saéngga nyebabake polusi. Ing wektu sing padha, permukaan peralatan bakal dadi panas amarga operasi sing terus-terusan, lan gradient suhu bakal nyebabake zona reflow ing cedhak mesin, sing bakal nambah akumulasi zona reflow. Ing wektu sing padha, suhu sing dhuwur bakal gampang nyebabake partikel bisa uwal. Dual efek agravasi kesulitan kanggo ngontrol kabersihan laminar lincah vertikal sakabèhé. Bumi saka operator ing ruangan sing resik gampang banget kanggo netepi wafers ing zona reflow iki.
4. Pengaruh saka Lantai Udara
Nalika resistensi ngasilake udhara liwat lantai beda, bedane tekanan bakal digawe, supaya udhara bakal mili ing arah sing kurang resistensi, lan airflow seragam ora bakal dipikolehi. Cara desain sing populer saiki yaiku nggunakake jubin munggah. Nalika tingkat pambuka jubin sing diangkat yaiku 10%, kecepatan airflow ing dhuwur ruangan ruangan bisa disebar kanthi merata. Kajaba iku, perhatian ketat kudu dibayar kanggo ngresiki karya kanggo nyuda sumber polusi saka lantai.
5. Fenomena Induction
Fenomena sing disebut sing diarani nuduhake fenomena sing ana ing arah aliran seragam sing dielawan digawe, lan bledug sing diasilake ing ruangan utawa bledug ing jeruk sing ditindhes, supaya bledug bisa ngrusak chip. Ing ngisor iki minangka fenomena induksi bisa:
(1). Piring buta
Ing kamar sing resik kanthi aliran unidirectional vertikal, amarga sendi ing tembok, umume piring buta gedhe sing bakal ngasilake kerusuhan ing aliran balik lokal.
(2). Lampu
Ukiran cahya ing ruangan sing resik bakal duwe pengaruh sing luwih gedhe. Wiwit lampu neon panas nyebabake airflow munggah, ora bakal ana wilayah kerusuhan ing sangisore lampu neon. Umume, lampu ing ruangan sing resik dirancang ing bentuk teardrop kanggo nyuda pengaruh lampu ing organisasi udara.
(3.) celah ing antarane tembok
Yen ana kesenjangan ing antarane tingkat kebersihan sing beda utawa ing antarane pemisahan lan langit-langit, bledug saka wilayah kanthi syarat kabersihan kanthi syarat kabersihan kanthi syarat kabersihan.
(4). Jarak antarane mesin lan lantai utawa tembok
Yen longkangan ing antarane mesin lan lantai utawa tembok cilik banget, bakal nyebabake keruburan sing mbalek maneh. Mula, tinggalake longkangan ing antarane peralatan lan tembok lan ngangkat mesin supaya ora ngeculake mesin kasebut kanthi langsung.
Wektu kirim: Feb-05-2025