Tingkat asil chip ing industri manufaktur IC raket banget karo ukuran lan jumlah partikel udara sing diendapkan ing chip. Organisasi aliran udara sing apik bisa njupuk partikel sing diasilake dening sumber bledug saka kamar resik kanggo njamin kebersihan kamar resik, yaiku, organisasi aliran udara ing kamar resik nduweni peran penting ing tingkat asil produksi IC. Desain organisasi aliran udara ing kamar resik kudu nggayuh tujuan ing ngisor iki: nyuda utawa ngilangi arus eddy ing medan aliran kanggo nyegah retensi partikel sing mbebayani; njaga gradien tekanan positif sing cocog kanggo nyegah kontaminasi silang.
Gaya aliran udara
Miturut prinsip kamar resik, gaya sing tumindak ing partikel kalebu gaya massa, gaya molekul, tarikan antarane partikel, gaya aliran udara, lan liya-liyane.
Gaya aliran udara: nuduhake gaya aliran udara sing disebabake dening pangiriman, aliran udara bali, aliran udara konveksi termal, pengadukan buatan, lan aliran udara liyane kanthi laju aliran tartamtu kanggo nggawa partikel. Kanggo kontrol teknis lingkungan kamar resik, gaya aliran udara minangka faktor sing paling penting.
Eksperimen nuduhake yen ing gerakan aliran udara, partikel-partikel kasebut ngetutake gerakan aliran udara kanthi kecepatan sing meh padha. Kahanan partikel ing udhara ditemtokake dening distribusi aliran udara. Aliran udara sing mengaruhi partikel njero ruangan utamane kalebu: aliran udara pasokan udara (kalebu aliran udara primer lan aliran udara sekunder), aliran udara lan aliran udara konveksi termal sing disebabake dening wong sing mlaku, lan aliran udara sing disebabake dening operasi proses lan peralatan industri. Cara pasokan udara sing beda-beda, antarmuka kecepatan, operator lan peralatan industri, lan fenomena sing diinduksi ing kamar sing resik kabeh minangka faktor sing mengaruhi tingkat kebersihan.
Faktor-faktor sing mengaruhi organisasi aliran udara
1. Pengaruh metode pasokan udara
(1). Kacepetan pasokan udara
Kanggo njamin aliran udara sing seragam, kecepatan pasokan udara kudu seragam ing kamar resik searah; zona mati permukaan pasokan udara kudu cilik; lan penurunan tekanan ing ULPA uga kudu seragam.
Kacepetan pasokan udara seragam: yaiku, ketidakrataan aliran udara dikontrol ing ± 20%.
Zona mati ing lumahing pasokan udara luwih sithik: ora mung area bidang pigura ULPA sing kudu dikurangi, nanging sing luwih penting, FFU modular kudu diadopsi kanggo nyederhanakake pigura sing berlebihan.
Kanggo njamin aliran udara searah vertikal, pilihan penurunan tekanan filter uga penting banget, sing mbutuhake kerugian tekanan ing filter ora bisa nyimpang.
(2). Perbandingan antarane sistem FFU lan sistem kipas aliran aksial
FFU kuwi unit pasokan udara nganggo kipas lan filter (ULPA). Sawise udara disedot dening kipas sentrifugal FFU, tekanan dinamis diowahi dadi tekanan statis ing saluran udara lan dihembusake kanthi rata dening ULPA. Tekanan pasokan udara ing langit-langit yaiku tekanan negatif, saengga ora ana bledug sing bocor menyang kamar resik nalika filter diganti. Eksperimen nuduhake yen sistem FFU luwih unggul tinimbang sistem kipas aliran aksial babagan keseragaman saluran udara, paralelisme aliran udara, lan indeks efisiensi ventilasi. Iki amarga paralelisme aliran udara sistem FFU luwih apik. Panggunaan sistem FFU bisa nggawe aliran udara ing kamar resik luwih teratur.
(3). Pengaruhe struktur FFU dhewe
FFU utamane kasusun saka kipas, filter, piranti pandhuan aliran udara, lan komponen liyane. Filter efisiensi ultra-dhuwur ULPA minangka jaminan sing paling penting kanggo mesthekake yen kamar resik bisa entuk kebersihan sing dibutuhake saka desain kasebut. Bahan filter uga bakal mengaruhi keseragaman medan aliran. Nalika bahan filter kasar utawa pelat aliran laminar ditambahake ing outlet filter, medan aliran outlet bisa digawe seragam kanthi gampang.
2. Dampak saka antarmuka kecepatan sing beda-beda babagan kebersihan
Ing kamar resik sing padha, antarane area kerja lan area non-kerja aliran unidirectional vertikal, amarga bedane kecepatan udara ing outlet ULPA, efek pusaran campuran bakal diasilake ing antarmuka, lan antarmuka iki bakal dadi zona aliran udara turbulensi kanthi intensitas turbulensi udara sing dhuwur banget. Partikel bisa ditularake menyang permukaan peralatan lan ngrusak peralatan lan wafer.
3. Dampak saka staf lan peralatan
Nalika kamar resik kosong, karakteristik aliran udara ing kamar umume nyukupi syarat desain. Sawise peralatan mlebu kamar resik, personel pindhah lan produk dikirim, mesthi bakal ana alangan kanggo organisasi aliran udara. Contone, ing pojok utawa pinggir peralatan sing nonjol, gas bakal dialihake kanggo mbentuk zona turbulen, lan cairan ing zona kasebut ora gampang digawa dening gas, saengga nyebabake polusi. Ing wektu sing padha, permukaan peralatan bakal dadi panas amarga operasi terus-terusan, lan gradien suhu bakal nyebabake zona reflow cedhak mesin, sing bakal nambah akumulasi partikel ing zona reflow. Ing wektu sing padha, suhu sing dhuwur bakal gampang nyebabake partikel metu. Efek ganda nambah kesulitan ngontrol kebersihan laminar vertikal sakabèhé. Bledug saka operator ing kamar resik gampang banget nempel ing wafer ing zona reflow iki.
4. Pengaruh lantai udara bali
Nalika resistensi udara bali sing ngliwati lantai beda, bakal ana bedane tekanan, saengga udara bakal mili menyang arah resistensi sing luwih cilik, lan aliran udara sing seragam ora bakal dipikolehi. Cara desain populer saiki yaiku nggunakake lantai sing dhuwur. Nalika tingkat bukaan lantai sing dhuwur yaiku 10%, kecepatan aliran udara ing dhuwur ruangan bisa disebarake kanthi rata. Kajaba iku, perhatian sing ketat kudu diwenehake kanggo ngresiki supaya bisa nyuda sumber polusi lantai.
5. Fenomena induksi
Fenomena induksi nuduhake fenomena aliran udara ing arah sing ngelawan saka aliran seragam sing diasilake, lan bledug sing diasilake ing ruangan utawa bledug ing area sing terkontaminasi sing cedhak diinduksi menyang sisih sing nglawan angin, saengga bledug kasebut bisa ngontaminasi chip kasebut. Ing ngisor iki minangka fenomena induksi sing bisa ditindakake:
(1). Piring wuta
Ing kamar resik kanthi aliran searah vertikal, amarga sambungan ing tembok, umume ana pelat wuta gedhe sing bakal ngasilake turbulensi ing aliran bali lokal.
(2). Lampu
Lampu ing kamar resik bakal nduweni dampak sing luwih gedhe. Amarga panas lampu fluoresen nyebabake aliran udara mundhak, ora bakal ana area turbulen ing sangisore lampu fluoresen. Umumé, lampu ing kamar resik dirancang kanthi bentuk tetesan banyu kanggo nyuda dampak lampu ing organisasi aliran udara.
(3.) Celah antarane tembok
Nalika ana celah antarane partisi kanthi tingkat kebersihan sing beda-beda utawa antarane partisi lan langit-langit, bledug saka area kanthi syarat kebersihan sing kurang bisa ditransfer menyang area jejere kanthi syarat kebersihan sing dhuwur.
(4). Jarak antarane mesin lan lantai utawa tembok
Yen celah antarane mesin lan lantai utawa tembok cilik banget, bakal nyebabake turbulensi pantulan. Mulane, tinggalake celah antarane peralatan lan tembok lan angkat mesin supaya mesin ora ndemek lemah langsung.
Wektu kiriman: 05-Feb-2025