Tingkat ngasilake chip ing industri manufaktur IC raket banget karo ukuran lan jumlah partikel udara sing disimpen ing chip kasebut. Organisasi aliran udara sing apik bisa njupuk partikel sing diasilake saka sumber bledug adoh saka kamar sing resik kanggo njamin kebersihan kamar sing resik, yaiku, organisasi aliran udara ing kamar sing resik nduweni peran penting ing tingkat ngasilake produksi IC. Desain organisasi aliran udara ing kamar sing resik kudu nggayuh tujuan ing ngisor iki: nyuda utawa ngilangi arus eddy ing lapangan aliran supaya ora nahan partikel sing mbebayani; njaga gradien tekanan positif sing cocog kanggo nyegah kontaminasi silang.
pasukan aliran udara
Miturut prinsip kamar sing resik, pasukan sing tumindak ing partikel kalebu gaya massa, gaya molekul, daya tarik antarane partikel, gaya aliran udara, lsp.
Gaya aliran udara: nuduhake kekuwatan aliran udara sing disebabake pangiriman, aliran udara bali, aliran udara konveksi termal, aduk buatan, lan aliran udara liyane kanthi tingkat aliran tartamtu kanggo nggawa partikel. Kanggo kontrol teknis lingkungan kamar sing resik, gaya aliran udara minangka faktor sing paling penting.
Eksperimen wis nuduhake yen ing gerakan aliran udara, partikel ngetutake gerakan aliran udara kanthi kecepatan sing meh padha. Kahanan partikel ing udhara ditemtokake dening distribusi aliran udara. Aliran udara sing mengaruhi partikel njero ruangan utamane kalebu: aliran udara pasokan udara (kalebu aliran udara primer lan aliran udara sekunder), aliran udara lan aliran udara konveksi termal sing disebabake dening wong mlaku, lan aliran udara sing disebabake operasi proses lan peralatan industri. Cara pasokan udara sing beda-beda, antarmuka kacepetan, operator lan peralatan industri, lan fenomena induksi ing kamar sing resik kabeh faktor sing mengaruhi tingkat kebersihan.
Faktor sing mengaruhi organisasi aliran udara
1. Pengaruh cara pasokan udara
(1). Kacepetan pasokan udara
Kanggo mesthekake aliran udara seragam, kacepetan sumber online kudu seragam ing kamar resik unidirectional; zona mati saka lumahing sumber udhara kudu cilik; lan penurunan tekanan ing ULPA uga kudu seragam.
Kacepetan pasokan udara seragam: yaiku, aliran udara sing ora rata dikontrol ing ± 20%.
Zona kurang mati ing lumahing sumber udhara: ora mung kudu area bidang pigura ULPA suda, nanging liyane Jahwéh, modular FFU kudu diadopsi kanggo menakake pigura keluwih.
Kanggo mesthekake aliran udara unidirectional vertikal, pilihan gulung tekanan saka saringan uga penting banget, sing mbutuhake mundhut tekanan ing saringan ora bisa nyimpang.
(2). Perbandingan antarane sistem FFU lan sistem penggemar aliran aksial
FFU minangka unit pasokan udara kanthi kipas lan saringan (ULPA). Sawise udhara disedot dening penggemar sentrifugal saka FFU, tekanan dinamis diowahi dadi tekanan statis ing saluran udara lan diunekake kanthi merata dening ULPA. Tekanan pasokan udara ing langit-langit minangka tekanan negatif, supaya ora ana bledug sing bocor menyang ruangan sing resik nalika saringan diganti. Eksperimen wis nuduhake yen sistem FFU luwih unggul tinimbang sistem penggemar aliran aksial babagan keseragaman stopkontak udara, paralelisme aliran udara lan indeks efisiensi ventilasi. Iki amarga paralelisme aliran udara saka sistem FFU luwih apik. Panggunaan sistem FFU bisa nggawe aliran udara ing kamar resik luwih diatur.
(3). Pengaruh struktur FFU dhewe
FFU utamane dumadi saka penggemar, saringan, piranti panuntun aliran udara lan komponen liyane. Filter efisiensi ultra-dhuwur ULPA minangka jaminan sing paling penting kanggo apa kamar sing resik bisa entuk karesikan desain sing dibutuhake. Materi panyaring uga bakal mengaruhi keseragaman lapangan aliran. Nalika bahan panyaring kasar utawa piring aliran laminar ditambahake menyang outlet filter, lapangan aliran outlet bisa gampang digawe seragam.
2. Impact antarmuka kacepetan beda saka kebersihan
Ing kamar resik padha, antarane wilayah apa lan area non-makarya saka aliran unidirectional vertikal, amarga prabédan ing kacepetan udhara ing stopkontak ULPA, efek vortex mixed bakal kui ing antarmuka, lan antarmuka iki bakal dadi zona aliran online turbulent karo kakiyatan turbulence online utamané dhuwur. Partikel bisa ditularake menyang permukaan peralatan lan ngrusak peralatan lan wafer.
3. Dampak staf lan peralatan
Nalika kamar sing resik kosong, karakteristik aliran udara ing kamar umume nyukupi syarat desain. Sawise peralatan kasebut mlebu ing ruangan sing resik, pamindhahan personel lan produk dikirim, mesthi bakal ana alangan kanggo organisasi aliran udara. Contone, ing sudhut protruding utawa sudhut peralatan, gas bakal dialihake kanggo mbentuk zona turbulen, lan adi ing zona ora gampang digawa dening gas, saéngga nyebabake polusi. Ing wektu sing padha, lumahing peralatan bakal dadi panas amarga operasi terus-terusan, lan gradien suhu bakal nyebabake zona reflow cedhak mesin, sing bakal nambah akumulasi partikel ing zona reflow. Ing wektu sing padha, suhu dhuwur bakal gampang nyebabake partikel bisa lolos. Efek dual aggravates kangelan ngontrol sakabèhé vertikal laminanar cleanliness. Debu saka operator ing kamar sing resik gampang banget kanggo nempelake wafer ing zona reflow kasebut.
4. Pengaruh lantai udara bali
Nalika resistance saka udhara bali liwat lantai beda, prabédan meksa bakal kui, supaya udhara bakal mili ing arah kurang resistance, lan aliran udara seragam ora bakal dijupuk. Cara desain sing populer saiki yaiku nggunakake lantai sing dhuwur. Nalika tingkat bukaan lantai sing dhuwur yaiku 10%, kecepatan aliran udara ing dhuwur kerja ruangan bisa disebarake kanthi merata. Kajaba iku, perhatian sing ketat kudu dibayar kanggo karya reresik kanggo nyuda sumber polusi ing lantai.
5. Fenomena induksi
Fenomena induksi sing diarani nuduhake fenomena yen aliran udara ing arah ngelawan saka aliran seragam digawe, lan bledug sing diasilake ing kamar utawa bledug ing wilayah kontaminasi jejer diakibatake menyang sisih upwind, supaya bledug bisa ngrusak chip. Ing ngisor iki minangka fenomena induksi sing bisa ditindakake:
(1). Piring wuta
Ing kamar sing resik kanthi aliran unidirectional vertikal, amarga sendi ing tembok, umume ana piring wuta gedhe sing bakal ngasilake turbulensi ing aliran bali lokal.
(2). lampu
Perlengkapan lampu ing kamar sing resik bakal duwe pengaruh sing luwih gedhe. Amarga panas lampu neon nyebabake aliran udara mundhak, ora bakal ana area turbulen ing sangisore lampu neon. Umume, lampu ing kamar sing resik dirancang kanthi bentuk tetesan kanggo nyuda pengaruh lampu ing organisasi aliran udara.
(3.) Longkangan antarane tembok
Nalika ana kesenjangan ing antarane partisi kanthi tingkat kebersihan sing beda-beda utawa ing antarane partisi lan langit-langit, bledug saka wilayah sing nduweni syarat kebersihan sing kurang bisa ditransfer menyang wilayah jejer kanthi syarat kebersihan sing dhuwur.
(4). Jarak antarane mesin lan lantai utawa tembok
Yen longkangan antarane mesin lan lantai utawa tembok cilik banget, iku bakal nimbulaké kerusuhan mbalek. Mulane, ninggalake longkangan antarane peralatan lan tembok lan mundhakaken mesin supaya supaya mesin nutul lemah langsung.
Wektu kirim: Feb-05-2025