Perlindhungan lingkungan kudu luwih akeh perhatian, utamane kanthi nambah cuaca Haze. Teknik Kamar sing resik minangka salah sawijining langkah perlindungan lingkungan. Kepiye nggunakake teknik kamar sing resik kanggo nindakake proyek sing apik ing perlindungan lingkungan? Ayo ngobrol babagan kontrol ing teknik kamar sing resik.
Suhu lan Kelembapan Kontrol ing kamar sing resik
Suhu lan kelembapan spasi sing resik utamane ditemtokake adhedhasar syarat proses, nanging nalika syarat proses rapat, panglipur manungsa kudu dianggep. Kanthi perbaikan syarat kabersihan udara, ana tren syarat sing ketat kanggo suhu lan asor ing proses.
Minangka prinsip umum, amarga nambah presisi kanggo proses, syarat kanggo sawetara penyakit fluktuasi suhu dadi luwih cilik lan luwih cilik. Contone, ing proses litiografi lan cahya saka produksi sirkuit sing gedhe-gedhe, prabédan ing coefisien ekspansi termal ing antarane gelas lan silikon wafers dadi tambah akeh.
Wafer silikon kanthi diameter 100 μ M nyebabake ekspansi linear 0,24 μ m nalika suhu mundhak 1 gelar. Mula, suhu suhu ± 0,1 ℃ perlu, lan nilai asor umume amarga sawise kringet, produk bakal kontaminasi, utamane ing bengkel semikonduktor sing wedi sodium. Bengkel jinis iki ora kudu ngluwihi 25 ℃.
Kelembapan sing gedhe banget nyebabake masalah luwih akeh. Nalika kelembapan relatif ngluwihi 55%, kondensasi bakal mbentuk ing tembok pipa adhem adhem. Yen dumadi ing piranti utawa sirkuit, bisa nyebabake kacilakan. Nalika kelembapan relatif 50%, gampang kanggo teyeng. Kajaba iku, nalika asor banget, bledug sing nyedhot menyang permukaan wafer silikon bakal dadi admorbed kimia ing permukaan liwat molekul banyu ing udara, sing angel dicopot.
Sing luwih dhuwur asor relatif, sing luwih angel yaiku ngilangi adhesion. Nanging, nalika asor relatif ana ing ngisor 30%, partikel uga gampang banget ing permukaan amarga tumindak tenaga electrostattor, lan pirang-pirang piranti semikonduktor sing gampang dirusak. Jumlah suhu optimal kanggo produksi silikon wafer yaiku 35-45%.
Tekanan UdaraKontrolIng kamar sing resik
Kanggo spasi sing paling resik, kanggo nyegah polusi eksternal saka penerbangan, perlu kanggo njaga tekanan internal (tekanan statis) luwih dhuwur tinimbang tekanan njaba (tekanan statis). Pangopènan bedane tekanan kudu umume tundhuk prinsip ing ngisor iki:
1. Tekanan ing papan sing resik kudu luwih dhuwur tinimbang ing papan sing ora resik.
2. Tekanan ing papan kanthi tingkat kabersihan sing dhuwur kudu luwih dhuwur tinimbang sing ana ing ruang sing murah kanthi tingkat kabersihan sing kurang.
3 .. Pintu ing antarane kamar sing resik kudu dibukak menyang kamar kanthi tingkat kabersihan.
Pangopènan bedane tekanan gumantung saka jumlah hawa seger, sing kudu bisa ngimbangi bocor udara saka celah ing sangisore tekanan kasebut. Dadi makna fisik sing beda-beda yaiku resistensi bocor (utawa infiltrasi) aliran udhara liwat macem-macem kesenjangan ing ruangan sing resik.
Wektu kirim: Jul-21-2023