Perlindhungan lingkungan saya tambah akeh digatekake, utamane amarga cuaca kabut sing saya tambah. Rekayasa kamar resik minangka salah sawijining langkah perlindungan lingkungan. Kepiye carane nggunakake rekayasa kamar resik kanggo nindakake tugas sing apik ing perlindungan lingkungan? Ayo padha ngrembug babagan kontrol ing rekayasa kamar resik.
Kontrol suhu lan kelembapan ing kamar sing resik
Suhu lan kelembapan ruang sing resik utamane ditemtokake adhedhasar syarat proses, nanging nalika nyukupi syarat proses, kenyamanan manungsa kudu digatekake. Kanthi peningkatan syarat kebersihan udara, ana tren syarat suhu lan kelembapan sing luwih ketat ing proses.
Minangka prinsip umum, amarga presisi pangolahan sing saya tambah, syarat kanggo rentang fluktuasi suhu saya suda. Contone, ing proses litografi lan paparan produksi sirkuit terpadu skala gedhe, bedane koefisien ekspansi termal antarane wafer kaca lan silikon sing digunakake minangka bahan masker saya suda.
Wafer silikon kanthi diameter 100 μm nyebabake ekspansi linier 0,24 μm nalika suhu mundhak 1 derajat. Mulane, suhu konstan ± 0,1 ℃ dibutuhake, lan nilai kelembapan umume kurang amarga sawise kringet, produk kasebut bakal terkontaminasi, utamane ing bengkel semikonduktor sing wedi karo natrium. Bengkel jinis iki ora kena ngluwihi 25 ℃.
Kelembapan sing berlebihan nyebabake luwih akeh masalah. Nalika kelembapan relatif ngluwihi 55%, kondensasi bakal kawangun ing tembok pipa banyu pendingin. Yen kedadeyan ing piranti utawa sirkuit presisi, bisa nyebabake macem-macem kacilakan. Nalika kelembapan relatif 50%, gampang teyeng. Kajaba iku, nalika kelembapan dhuwur banget, bledug sing nempel ing permukaan wafer silikon bakal diserap sacara kimia ing permukaan liwat molekul banyu ing udhara, sing angel diilangi.
Saya dhuwur asor relatif, saya angel ngilangi adhesi. Nanging, nalika asor relatif kurang saka 30%, partikel uga gampang nyerep ing permukaan amarga aksi gaya elektrostatik, lan akeh piranti semikonduktor sing rentan rusak. Kisaran suhu optimal kanggo produksi wafer silikon yaiku 35-45%.
Tekanan udarakontroling kamar resik
Kanggo umume papan sing resik, supaya polusi eksternal ora mlebu, perlu njaga tekanan internal (tekanan statis) luwih dhuwur tinimbang tekanan eksternal (tekanan statis). Pangopènan bedane tekanan umume kudu tundhuk karo prinsip-prinsip ing ngisor iki:
1. Tekanan ing papan sing resik kudu luwih dhuwur tinimbang ing papan sing ora resik.
2. Tekanan ing papan kanthi tingkat kebersihan sing dhuwur kudune luwih dhuwur tinimbang ing papan ing sandhinge kanthi tingkat kebersihan sing endhek.
3. Lawang antarane kamar sing resik kudu dibukak menyang kamar kanthi tingkat kebersihan sing dhuwur.
Pangopènan prabédan tekanan gumantung saka jumlah udara seger, sing kudune bisa ngimbangi bocor udara saka celah ing sangisore prabédan tekanan iki. Dadi teges fisik saka prabédan tekanan yaiku resistensi aliran udara bocor (utawa infiltrasi) liwat macem-macem celah ing kamar resik.
Wektu kiriman: 21 Juli 2023