Perlindhungan lingkungan luwih digatekake, utamane kanthi nambah cuaca kabut.Teknik kamar resik minangka salah sawijining langkah perlindungan lingkungan.Kepiye cara nggunakake teknik kamar sing resik kanggo nindakake pakaryan sing apik babagan perlindungan lingkungan?Ayo dadi pirembagan bab kontrol ing engineering kamar resik.
Kontrol suhu lan kelembapan ing kamar sing resik
Suhu lan kelembapan ruangan sing resik utamane ditemtokake adhedhasar syarat proses, nanging nalika nyukupi syarat proses, kenyamanan manungsa kudu dianggep.Kanthi nambah syarat kebersihan udara, ana tren syarat sing luwih ketat kanggo suhu lan kelembapan ing proses.
Minangka prinsip umum, amarga tambah presisi pangolahan, syarat kanggo sawetara fluktuasi suhu dadi luwih cilik lan luwih cilik.Contone, ing proses litografi lan eksposur produksi sirkuit terpadu skala gedhe, bedane koefisien ekspansi termal antarane wafer kaca lan silikon sing digunakake minangka bahan topeng saya tambah cilik.
Wafer silikon kanthi diameter 100 μm nyebabake ekspansi linier 0,24 μm nalika suhu mundhak 1 derajat.Mulane, suhu pancet ± 0,1 ℃ perlu, lan nilai asor umume kurang amarga sawise sweating, produk bakal ono racune, utamané ing lokakarya semikonduktor sing wedi sodium.Jinis bengkel iki ora kudu ngluwihi 25 ℃.
Kelembapan sing berlebihan nyebabake masalah liyane.Nalika kelembapan relatif ngluwihi 55%, kondensasi bakal dibentuk ing tembok pipa banyu sing adhem.Yen kedadeyan ing piranti utawa sirkuit presisi, bisa nyebabake macem-macem kacilakan.Nalika kelembapan relatif 50%, gampang teyeng.Kajaba iku, nalika asor dhuwur banget, bledug adhering ing lumahing wafer silikon bakal kimia adsorbed ing lumahing liwat molekul banyu ing udhara, kang angel kanggo mbusak.
Sing luwih dhuwur asor relatif, sing luwih angel kanggo mbusak adhesion.Nanging, nalika asor relatif ngisor 30%, partikel uga gampang adsorbed ing lumahing amarga tumindak pasukan elektrostatik, lan nomer akeh piranti semikonduktor rentan kanggo risak.Kisaran suhu optimal kanggo produksi wafer silikon yaiku 35-45%.
Tekanan udarakontroling kamar resik
Kanggo papan sing paling resik, kanggo nyegah polusi njaba saka invasi, perlu kanggo njaga tekanan internal (tekanan statis) sing luwih dhuwur tinimbang tekanan eksternal (tekanan statis).Pangopènan prabédan tekanan umume kudu tundhuk karo prinsip ing ngisor iki:
1. Tekanan ing papan sing resik kudu luwih dhuwur tinimbang ing papan sing ora resik.
2. Tekanan ing papan kanthi tingkat karesikan dhuwur kudu luwih dhuwur tinimbang ing papan jejer kanthi tingkat karesikan sing sithik.
3. Lawang antarane kamar sing resik kudu dibukak menyang kamar kanthi tingkat kebersihan sing dhuwur.
Pangopènan prabédan tekanan gumantung saka jumlah hawa seger, sing kudu bisa ngimbangi kebocoran udara saka celah ing prabédan tekanan iki.Dadi makna fisik prabédan tekanan yaiku resistensi aliran udara bocor (utawa infiltrasi) liwat macem-macem kesenjangan ing kamar sing resik.
Wektu kirim: Jul-21-2023