Asil chip ing industri manufaktur chip raket banget karo ukuran lan jumlah partikel udara sing diendapkan ing chip. Organisasi aliran udara sing apik bisa njupuk partikel sing diasilake saka sumber bledug saka kamar resik lan njamin kebersihan kamar resik. Yaiku, organisasi aliran udara ing kamar resik nduweni peran penting ing asil produksi chip. Tujuan sing kudu digayuh ing desain organisasi aliran udara kamar resik yaiku: kanggo nyuda utawa ngilangi arus eddy ing medan aliran kanggo nyegah retensi partikel sing mbebayani; kanggo njaga gradien tekanan positif sing cocog kanggo nyegah kontaminasi silang.
Miturut prinsip kamar resik, gaya sing tumindak ing partikel kalebu gaya massa, gaya molekuler, tarikan antarane partikel, gaya aliran udara, lan liya-liyane.
Gaya aliran udara: nuduhake gaya aliran udara sing disebabake dening aliran udara pasokan lan bali, aliran udara konveksi termal, agitasi buatan, lan aliran udara liyane kanthi laju aliran tartamtu kanggo nggawa partikel. Kanggo kontrol teknologi lingkungan kamar resik, gaya aliran udara minangka faktor sing paling penting.
Eksperimen nuduhake yen ing gerakan aliran udara, partikel ngetutake aliran udara kanthi kecepatan sing meh padha. Kondisi partikel ing udara ditemtokake dening distribusi aliran udara. Efek utama aliran udara marang partikel njero ruangan kalebu: aliran udara pasokan udara (kalebu aliran udara primer lan aliran udara sekunder), aliran udara lan aliran udara konveksi termal sing disebabake dening wong sing mlaku, lan dampak aliran udara marang partikel sing disebabake dening operasi proses lan peralatan industri. Cara pasokan udara sing beda-beda, antarmuka kecepatan, operator lan peralatan industri, fenomena sing diinduksi, lan liya-liyane ing kamar bersih minangka faktor sing mengaruhi tingkat kebersihan.
1. Pengaruh metode pasokan udara
(1) Kacepetan pasokan udara
Kanggo njamin aliran udara sing seragam, kecepatan pasokan udara ing ruang bersih aliran searah kudu seragam; zona mati ing permukaan pasokan udara kudu cilik; lan penurunan tekanan ing filter hepa uga kudu seragam.
Kacepetan pasokan udara iku seragam: yaiku, ketidakrataan aliran udara dikontrol ing ± 20%.
Ruang mati ing lumahing pasokan udara luwih sithik: ora mung area bidang pigura hepa sing kudu dikurangi, nanging sing luwih penting, FFU modular kudu digunakake kanggo nyederhanakake pigura sing ora perlu.
Kanggo mesthekake yen aliran udara vertikal lan searah, pilihan penurunan tekanan filter uga penting banget, lan dibutuhake supaya kerugian tekanan ing njero filter ora bias.
(2) Perbandingan antarane sistem FFU lan sistem kipas aliran aksial
FFU kuwi unit pasokan udara nganggo kipas lan filter hepa. Udarane disedot dening kipas sentrifugal FFU lan ngowahi tekanan dinamis dadi tekanan statis ing saluran udara. Tekanan kasebut dihembusake kanthi rata dening filter hepa. Tekanan pasokan udara ing langit-langit yaiku tekanan negatif. Kanthi cara iki, ora ana bledug sing bakal bocor menyang kamar resik nalika ngganti filter. Eksperimen nuduhake yen sistem FFU luwih unggul tinimbang sistem kipas aliran aksial babagan keseragaman saluran udara, paralelisme aliran udara, lan indeks efisiensi ventilasi. Iki amarga paralelisme aliran udara sistem FFU luwih apik. Panggunaan sistem FFU bisa ningkatake organisasi aliran udara ing kamar resik.
(3) Pengaruh struktur FFU dhewe
FFU utamane kasusun saka kipas, filter, pandhuan aliran udara, lan komponen liyane. Filter hepa minangka jaminan sing paling penting kanggo kamar sing resik supaya bisa entuk kebersihan sing dibutuhake dening desain. Bahan filter uga bakal mengaruhi keseragaman medan aliran. Nalika bahan filter kasar utawa pelat aliran ditambahake ing outlet filter, medan aliran outlet bisa digawe seragam kanthi gampang.
2. Dampak antarmuka kecepatan karo kebersihan sing beda-beda
Ing kamar resik sing padha, antarane area kerja lan area non-kerja kanthi aliran unidirectional vertikal, amarga bedane kecepatan udara ing kothak hepa, efek pusaran campuran bakal kedadeyan ing antarmuka, lan antarmuka iki bakal dadi zona aliran udara turbulen. Intensitas turbulensi udara kuwat banget, lan partikel bisa ditularake menyang permukaan mesin peralatan lan ngrusak peralatan lan wafer.
3. Dampak marang staf lan peralatan
Nalika kamar resik kosong, karakteristik aliran udara ing kamar umume nyukupi syarat desain. Sawise peralatan mlebu kamar resik, wong pindhah, lan produk diangkut, mesthi ana alangan kanggo organisasi aliran udara, kayata titik landhep sing metu saka mesin peralatan. Ing pojok utawa pinggir, gas bakal dialihake kanggo mbentuk area aliran turbulen, lan cairan ing wilayah kasebut ora bakal gampang digawa dening gas sing mlebu, saengga nyebabake polusi.
Ing wektu sing padha, permukaan peralatan mekanik bakal dadi panas amarga operasi terus-terusan, lan gradien suhu bakal nyebabake area reflow cedhak mesin, sing nambah akumulasi partikel ing area reflow. Ing wektu sing padha, suhu sing dhuwur bakal gampang nyebabake partikel metu. Efek ganda nambah lapisan vertikal sakabèhé. Kesulitan ngontrol kebersihan kali. Bledug saka operator ing kamar resik bisa gampang nempel ing wafer ing area reflow iki.
4. Pengaruh lantai udara bali
Nalika resistensi udara bali sing ngliwati lantai beda, bakal ana bedane tekanan, nyebabake udara mili menyang arah resistensi cilik, lan aliran udara sing seragam ora bakal dipikolehi. Cara desain populer saiki yaiku nggunakake lantai sing ditinggikake. Nalika rasio bukaan lantai sing ditinggikake ana ing 10%, kecepatan aliran udara bisa disebarake kanthi rata ing dhuwur kerja njero ruangan. Kajaba iku, perhatian sing ketat kudu diwenehake kanggo ngresiki supaya bisa nyuda sumber polusi ing lantai.
5. Fenomena induksi
Fenomena induksi nuduhake fenomena ngasilake aliran udara ing arah sing ngelawan karo aliran seragam, nyebabake bledug sing diasilake ing ruangan utawa bledug ing area sing kontaminasi ing sisih sing nglawan angin, saengga nyebabake bledug ngontaminasi wafer. Fenomena sing bisa diinduksi kalebu ing ngisor iki:
(1) Pelat wuta
Ing kamar resik kanthi aliran siji arah vertikal, amarga sambungan ing tembok, umume ana panel wuta gedhe sing bakal ngasilake aliran turbulen lan aliran balik lokal.
(2) Lampu
Lampu ing kamar resik bakal nduweni dampak sing luwih gedhe. Amarga panas lampu fluoresen nyebabake aliran udara mundhak, lampu fluoresen ora bakal dadi area sing turbulen. Umumé, lampu ing kamar resik dirancang kanthi bentuk tetesan banyu kanggo nyuda dampak lampu ing organisasi aliran udara.
(3) Celah antarane tembok
Nalika ana celah antarane tembok partisi utawa langit-langit kanthi syarat kebersihan sing beda, bledug saka area kanthi syarat kebersihan sing kurang bisa ditransfer menyang area jejere kanthi syarat kebersihan sing dhuwur.
(4) Jarak antarane peralatan mekanik lan lantai utawa tembok
Yen celah antarane peralatan mekanik lan lantai utawa tembok cilik, bakal ana turbulensi pantulan. Mulane, tinggalake celah antarane peralatan lan tembok lan angkat platform mesin supaya ora kena langsung karo lemah.
Wektu kiriman: 02-Nov-2023