Hasil chip ing industri manufaktur chip rapet karo ukuran lan jumlah partikel udara sing setor ing chip. Organisasi aliran udara sing apik bisa njupuk partikel sing digawe saka bledug sumber adoh saka kamar sing resik lan njamin kebersihan saka kamar sing resik. Yaiku, organisasi aliran udara ing Granroom duwe peran penting kanggo ngasilake produksi chip. Tujuan sing bakal digayuh ing desain organisasi aliran udara sing resik yaiku: kanggo nyuda utawa ngilangi arus edddy ing kolom aliran supaya nyegah partikel sing mbebayani; kanggo njaga kecerunan tekanan positif sing cocog kanggo nyegah kontaminasi salib.
Miturut prinsip ruangan sing resik, pasukan sing tumindak kalebu kekuwatan massa, kekuwatan molekuler, atraksi antarane partikel, pasukan aliran udara, lsp.
Angkatan Udara: Nuduhake kekuwatan udara sing disebabake lan ngasilake keranjang terbang, brain udara buatan, lan udara udara liyane kanthi tingkat aliran tartamtu kanggo nggawa partikel. Kanggo kontrol teknologi lingkungan sing resik, kekuwatan aliran udara minangka faktor sing paling penting.
Eksperimen wis nuduhake manawa ing gerakan, partikel tindakake airflow ing meh persis sing padha. Kahanan partikel ing udhara ditemtokake dening distribusi airflow. Efek utama saka aliran udara ing partikel jero ruangan kalebu: Airflow Air (kalebu Airflow Airflow utama), Airflow Airflow utama lan aliran udara sing disebabake dening wong-wong sing mlaku-mlaku ing partikel sing disebabake dening wong-wong sing nyebabake partikel lan peralatan proses. Metode pasokan udara sing beda, antarmuka kacepetan, operator lan peralatan industri, fenomena sing didorong, lsp ing Heruk minangka kabeh faktor sing mengaruhi tingkat kabersihan.
1. Pengaruh Metode Penyediaan Udara
(1) kacepetan sumber udara
Supaya bisa njamin aliran hawa seragam, kacepetan sumber udhara ing ruangan sing ora umum kudu seragam; Zona mati ing permukaan sumber udara kudu cilik; Lan tekanan tetes ing sisi HEPA uga kudu seragam.
Kacepetan sumber udara seragam: yaiku, ora rata saka aliran udara dikendhaleni sajrone ± 20%.
Ora ana ruang sing kurang mati ing permukaan udara udara: ora mung kudu pesawat pesawat saka pigura HEPA dikurangi, nanging sing luwih penting, Modular FFU kudu digunakake kanggo nggawe pigura sing luwih akeh.
Supaya bisa mesthekake yen aliran udhara vertikal lan unidirectional, penurunan tekanan Pilihan panyaring uga penting banget, lan dibutuhake manawa kerugian tekanan ora bisa didol.
(2) Perbandingan antara sistem FFU lan sistem penggemar aliran axial
FFU minangka unit sumber udara kanthi filter penggemar lan HEPA. Udhara kasebut disedhot ing penggemar centrifugal FFU lan ngowahi tekanan dinamis dadi tekanan statis ing saluran udara. Iki ditiup kanthi merata dening filter HEPA. Tekanan udara udara ing langit-langit yaiku tekanan negatif. Kanthi cara iki ora ana bledug bakal bocor menyang kamar sing resik nalika ngganti panyaring. Eksperimen nuduhake manawa sistem FFU luwih unggul ing sistem penggemar aliran axial ing babagan keseragaman outlet udara, paralelisme aliran udara lan indeks efisiensi ventilasi. Iki amarga hawa aliran paralelisme sistem FFU luwih apik. Panggunaan sistem FFU bisa nambah organisasi aliran udara ing ruangan sing resik.
(3) Pengaruh saka struktur FFU dhewe
FFU utamane dumadi saka penggemar, saringan, pandhuan aliran udara lan komponen liyane. Filter HEPA minangka jaminan sing paling penting kanggo ruangan sing resik kanggo nggayuh kabersihan sing dibutuhake kanthi desain. Bahan saka filter kasebut uga bakal mengaruhi keseragaman lapangan aliran. Nalika bahan panyaring atos utawa piring aliran ditambahake ing outlet Filter, lapangan aliran outlet bisa digawe seragam kanthi gampang.
2. Efek antarmuka kacepetan kanthi kabersihan sing beda
Ing kamar sing resik sing padha, ing antarane wilayah sing digunakake lan wilayah sing ora kerja kanthi aliran unidirectional vertikal, amarga bedane kacepetan udara ing kothak HEPA, lan antarmuka iki bakal dadi kerusakan zona udara. Intensitas kerusuhan udara sing kuwat, lan partikel bisa ditularake menyang permukaan mesin peralatan lan ngrusak peralatan lan wafers.
3. Efek ing staf lan peralatan
Nalika kamar resik kosong, ciri aliran udara ing ruangan umume ketemu karo reaksi. Sawise peralatan mlebu kamar, wong-wong pindhah, lan produk diangkut, ora ana alangan menyang organisasi aliran udara, kayata titik sing cetha saka mesin peralatan. Ing pojok utawa sudhut, gas kasebut bakal ngalihake kanggo mbentuk wilayah aliran kerumitan, lan cairan ing wilayah kasebut ora gampang digawa kanthi gas mlebu, saéngga nyebabake polusi.
Ing wektu sing padha, permukaan peralatan mekanik bakal digawe panas amarga operasi sing terus-terusan, lan gradient suhu bakal nyebabake macem-macem partikel ing area reflow. Ing wektu sing padha, suhu sing dhuwur bakal gampang nyebabake partikel bisa uwal. Efek dual intensif ing lapisan vertikal sakabehe. Kangelan kanggo ngontrol kabersihan stream. Bumi saka operator ing ruangan sing resik bisa gampang netepi wafers ing wilayah kasebut.
4. Pengaruh saka Lantai Udara
Nalika resistensi udhara bali liwat lantai beda, bedane tekanan bakal kedadeyan, nyebabake udhara mili ing arah resistensi cilik, lan aliran hawa seragam ora bakal dipikolehi. Cara desain sing populer saiki yaiku nggunakake lantai sing dhuwur. Nalika rasio pambuka lantai sing munggah ing 10%, kecepatan aliran udara bisa uga disebar ing dhuwur ing jero ruangan. Kajaba iku, perhatian ketat kudu dibayar kanggo ngresiki kerja kanggo nyuda sumber polusi ing lantai.
5. Fenomena Induction
Fenomena sing diarani sing diarani nggambarake fenomena sing ngasilake airflow ing arah sing beda menyang aliran seragam, debu ing sisih kamar utawa bledug sing digawe ing sisih ngarep, saéngga bledug kanggo ngrusak wafer. Bisa didorong fenomena kalebu ing ngisor iki:
(1) piring buta
Ing kamar sing resik kanthi aliran siji-vertikal, amarga sendi ing tembok, umume panel gedhe sing bakal ngasilake aliran kerusuhan lan mundur balung lokal.
(2) lampu
Ukuran cahya ing ruangan sing resik bakal duwe pengaruh sing luwih gedhe. Wiwit panas lampu neon nyebabake pesawat udara munggah, lampu neon ora bakal dadi wilayah sing kerembulan. Umume, lampu ing ruangan sing resik dirancang ing bentuk teardrop kanggo nyuda pengaruh lampu ing organisasi udara udara.
(3) kesenjangan ing antarane tembok
Yen ana kesenjangan ing antarane tembok partisi utawa langit-syarat kabersihan sing beda, bledug saka wilayah kanthi syarat kabersihan sing kurang bisa ditransfer menyang wilayah sing ana gandhengane kanthi syarat kabersihan sing dhuwur.
(4) Jarak antarane peralatan mekanik lan lantai utawa tembok
Yen celah ing antarane peralatan mekanik lan lantai utawa tembok cilik, rempah-rusur mundur bakal kelakon. Mula, tinggalake longkangan ing antarane peralatan lan tembok lan ngunggahake platform mesin kanggo ngindhari kontak langsung karo lemah.
Wektu Pos: Nov-02-2023