Asil chip ing industri manufaktur chip raket banget karo ukuran lan jumlah partikel udara sing disimpen ing chip.Organisasi aliran udara sing apik bisa njupuk partikel sing diasilake saka sumber bledug adoh saka kamar sing resik lan njamin kebersihan kamar resik.Yaiku, organisasi aliran udara ing kamar resik nduweni peran penting ing ngasilake produksi chip.Tujuan sing kudu digayuh ing desain organisasi aliran udara ruangan sing resik yaiku: nyuda utawa ngilangi arus eddy ing lapangan aliran supaya ora nahan partikel sing mbebayani;kanggo njaga gradien tekanan positif sing cocog kanggo nyegah kontaminasi silang.
Miturut prinsip kamar sing resik, gaya sing tumindak ing partikel kalebu gaya massa, gaya molekul, daya tarik antarane partikel, gaya aliran udara, lsp.
Gaya aliran udara: nuduhake kekuwatan aliran udara sing disebabake dening pasokan lan aliran udara bali, aliran udara konveksi termal, agitasi buatan, lan aliran udara liyane kanthi tingkat aliran tartamtu kanggo nggawa partikel.Kanggo kontrol teknologi lingkungan kamar sing resik, gaya aliran udara minangka faktor sing paling penting.
Eksperimen wis nuduhake yen ing gerakan aliran udara, partikel ngetutake aliran udara kanthi kecepatan sing meh padha.Kondisi partikel ing udara ditemtokake dening distribusi aliran udara.Efek utama aliran udara ing partikel njero ruangan kalebu: aliran udara pasokan udara (kalebu aliran udara primer lan aliran udara sekunder), aliran udara lan aliran udara konveksi termal sing disebabake dening wong mlaku, lan pengaruh aliran udara ing partikel sing disebabake operasi proses lan peralatan industri.Cara pasokan udara sing beda-beda, antarmuka kacepetan, operator lan peralatan industri, fenomena induksi, lan liya-liyane ing kamar resik kabeh faktor sing mengaruhi tingkat kebersihan.
1. Pengaruh cara pasokan udara
(1) Kacepetan pasokan udara
Supaya kanggo mesthekake aliran online seragam, kacepetan sumber online ing aliran unidirectional kamar resik kudu seragam;zona mati ing lumahing sumber udhara kudu cilik;lan penurunan tekanan ing saringan hepa uga kudu seragam.
Kacepetan pasokan udara seragam: yaiku, aliran udara sing ora rata dikontrol ing ± 20%.
Ana kurang papan mati ing lumahing sumber online: ora mung kudu suda area bidang pigura hepa, nanging liyane Jahwéh, modular FFU kudu digunakake kanggo menakake pigura keluwih.
Supaya kanggo mesthekake yen aliran online vertikal lan unidirectional, pilihan gulung meksa saka Filter uga penting banget, lan iku kudu mundhut meksa ing Filter ora bisa bias.
(2) Perbandingan antarane sistem FFU lan sistem penggemar aliran aksial
FFU minangka unit pasokan udara kanthi kipas lan saringan hepa.Udhara disedot dening penggemar sentrifugal saka FFU lan ngowahi tekanan dinamis dadi tekanan statis ing saluran udara.Iki diunekake kanthi merata kanthi saringan hepa.Tekanan pasokan udara ing langit-langit yaiku tekanan negatif.Kanthi cara iki, bledug ora bakal bocor menyang kamar sing resik nalika ngganti filter.Eksperimen wis nuduhake yen sistem FFU luwih unggul tinimbang sistem penggemar aliran aksial babagan keseragaman stopkontak udara, paralelisme aliran udara lan indeks efisiensi ventilasi.Iki amarga paralelisme aliran udara saka sistem FFU luwih apik.Panggunaan sistem FFU bisa nambah organisasi aliran udara ing kamar resik.
(3) Pengaruh struktur FFU dhewe
FFU utamane dumadi saka penggemar, saringan, panuntun aliran udara lan komponen liyane.Filter hepa minangka jaminan paling penting kanggo kamar sing resik kanggo entuk kabersihan sing dibutuhake dening desain.Materi panyaring uga bakal mengaruhi keseragaman lapangan aliran.Nalika bahan Filter kasar utawa piring aliran ditambahake menyang stopkontak Filter, lapangan aliran stopkontak bisa gampang digawe seragam.
2. Impact antarmuka kacepetan karo kebersihan beda
Ing kamar sing padha resik, ing antarane area kerja lan area sing ora bisa digunakake kanthi aliran unidirectional vertikal, amarga bedane kecepatan udara ing kothak hepa, efek vortex campuran bakal kedadeyan ing antarmuka, lan antarmuka iki bakal dadi kerusuhan. zona aliran udara.Intensitas turbulensi udhara utamane kuwat, lan partikel bisa ditularake menyang permukaan mesin peralatan lan ngrusak peralatan lan wafer.
3. Dampak ing staf lan peralatan
Nalika kamar sing resik kosong, karakteristik aliran udara ing kamar umume nyukupi syarat desain.Sawise peralatan lumebu ing kamar resik, wong pindhah, lan produk diangkut, mesthi ana alangan kanggo organisasi aliran udara, kayata titik landhep sing metu saka mesin peralatan.Ing pojok-pojok utawa pinggir-pinggir, gas bakal dialihake kanggo mbentuk wilayah aliran turbulen, lan cairan ing wilayah kasebut ora gampang digawa dening gas sing mlebu, saengga nyebabake polusi.
Ing wektu sing padha, lumahing peralatan mekanik bakal digawe panas amarga operasi sing terus-terusan, lan gradien suhu bakal nyebabake area reflow cedhak mesin, sing nambah akumulasi partikel ing area reflow.Ing wektu sing padha, suhu dhuwur bakal gampang nyebabake partikel bisa lolos.Efek ganda nggedhekake lapisan vertikal sakabèhé.Kangelan kanggo ngontrol kebersihan stream.Debu saka operator ing kamar sing resik bisa gampang nempel ing wafer ing wilayah reflow kasebut.
4. Pengaruh lantai udara bali
Nalika resistance saka udhara bali liwat lantai beda, prabédan meksa bakal kelakon, ndadékaké online kanggo mili menyang resistance cilik, lan aliran online seragam ora bakal dijupuk.Cara desain sing populer saiki yaiku nggunakake lantai sing dhuwur.Nalika rasio bukaan saka lantai munggah pangkat ing 10%, kecepatan aliran udara bisa roto-roto mbagekke ing dhuwur apa njero ruangan.Kajaba iku, perhatian sing ketat kudu dibayar kanggo karya reresik kanggo nyuda sumber polusi ing lantai.
5. Fenomena induksi
Fenomena induksi sing diarani nuduhake fenomena ngasilake aliran udara ing arah sing ngelawan karo aliran seragam, nyebabake bledug sing diasilake ing kamar utawa bledug ing wilayah sing kontaminasi jejer menyang sisih upwind, saéngga nyebabake bledug ngrusak wafer.Fenomena sing bisa diakibatake kalebu ing ngisor iki:
(1) Piring wuta
Ing kamar sing resik kanthi aliran siji-arah vertikal, amarga sendi ing tembok, umume ana panel buta sing gedhe sing bakal ngasilake aliran turbulen lan aliran bali lokal.
(2) Lampung
Perlengkapan lampu ing kamar sing resik bakal duwe pengaruh sing luwih gedhe.Amarga panas saka lampu neon nyebabake aliran udara mundhak, lampu neon ora bakal dadi wilayah turbulen.Umume, lampu ing kamar sing resik dirancang kanthi bentuk teardrop kanggo nyuda pengaruh lampu ing organisasi aliran udara.
(3) Longkangan antarane tembok
Yen ana celah ing antarane tembok partisi utawa langit-langit kanthi syarat kebersihan sing beda-beda, bledug saka wilayah kanthi syarat kebersihan sing kurang bisa ditransfer menyang wilayah sing cedhak karo syarat kebersihan sing dhuwur.
(4) Jarak antarane peralatan mekanik lan lantai utawa tembok
Yen longkangan antarane peralatan mechanical lan lantai utawa tembok cilik, rebound turbulensi bakal kelakon.Mulane, ninggalake celah antarane peralatan lan tembok lan mundhakaken platform mesin supaya kontak langsung karo lemah.
Posting wektu: Nov-02-2023